リアルタイム超高感度分析

インクジェットエアロゾル発生器シリーズ

インクジェットエアロゾル発生器が 産業総合研究所ホームページ 産総研と地域企業産業振興 で連携に紹介されました。

概 要

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センターNMIJ)で世界初の 発生器型粒子数標準として開発された
インクジェットエアロゾル発生器AIST-IAG)』 を弊社が製品化しました。
清浄度クラスの測定あるいは無菌製造環境のモニタリングに用いる光散乱式気中パーティクルカウンタ(気中OPC)の校正において課題となっている5 mm以上での試験粒子の発生、 ならびにJIS B 9921で規定される参照器との並行測定法の実施上の難点を解決し、粒子計数効率の正確な評価を行う目的で開発された装置です(JIS B 9921では粒径標準を規定しておりますが、 粒子数標準は従来ないため規定しておりません。)

■ 原 理 ■

オンデマンド型インクジェットで正確に1滴づつ生成させた液滴を除電、溶媒乾燥することで、一定粒径(体積等価粒径)の溶質粒子を発生します。 粒径は供給する溶液の液滴中の溶質の質量濃度により決定されます。粒子発生頻度はインクジェットヘッド内ピエゾ素子へ送る電圧パルスの周波数により制御されます。

■ 特 長 ■

◆ 粒径が既知であるエアロゾル粒子を、粒子数に対し効率100±0.5%の高い精度で発生させます。
◆ 溶剤と溶質を変えることで種々の固体粒子及び液体粒子を発生できます。
◆ 湿式での粒径標準ポリスチレンラテックス球(PSL球)のエアロゾル化に使用できます。
◆ 二量体発生ゼロで、粒径0.3~20 µm、PSL球状粒子と同等の単分散粒子を発生します。



■ 用 途 ■

環境・大気 凝縮粒子カウンタ(CPC)の現場動作確認、微粒子サンプリング系及び装置の粒子透過効率の評価
自動車 凝縮粒子カウンタ(CPC)の現場動作確認
半導体・電子・電機 気中OPCの粒子計数効率の評価
製薬・生化学 無菌製造環境中浮遊微粒子のモニタリングにおける品質管理、気中OPCの粒子計数効率の評価
その他理工学研究 実験用微粒子の定量供給

製 品

インクジェットエアロゾル発生器

IAG-ASS

産総研で開発された 高精度技術による粒子発生で、トレーサブルな粒子計測を支援します。

粒径      0.3~20 µm(体積等価粒径)
粒子発生頻度  10~500個/s
粒子数濃度   0.6~100個/cm3
粒子数発生効率 100±0.5%(0.4~10 µm、10~100個/s、0.3~1.0 L/minにおいて)
粒径分布    相対標準偏差4%以下

カタログPDFファイル(3.6MB)